CYG1500微型、薄型动态传感器系列

动态定制压力传感器

产品简介

标称尺寸外径2mm的超微型压力传感器CYG502是专为流体力学实验中要求更小安装尺寸的用途而设计的。是目前我公司推出产品中尺寸最小的压力传感器。
CYG502的压力敏感元件采用当代最先进的MEMS(Miro Electronic Machinical Systems)技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度。离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移。采用硅硅直接键合技术、倒V型槽设计、从而实现了可利用芯片薄膜尺寸的最佳化,为超微型传感器

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    性能指标参数

      指标

    档级

    非线性精度

    ±%FS

    迟滞重复性

    %FS

    零位温度系数

    ×10-4 FS /℃

    灵敏度温度系数

    ×10-4 FS /℃

    零位时漂

    <mV/8h

    JA

    典型值±0.25%FS

    最大值±0.5%FS

    典型值0.05%FS

    最大值0.1%FS

    5

    5

    0.2

    JB

    典型值±0.1%FS

    最大值±0.2%FS  

    2

    2

    0.1

    零位输出         0±5mV

    满量程输出       最小值30mV   典型值80mV   最大值130mV

    输入输出阻抗     最小值3 kΩ  典型值4.5 kΩ  最大值6 kΩ

    输入工作电流    1mA 、1.2mA(恒流源)

    存储温度范围     -60℃~+130℃

    工作温度范围     -55℃~+125℃(如需更宽工作温区的产品请与工厂联系)

    补偿温度范围     10~70℃工作温区 (其它更宽温度段可协商定制)

    测量介质         无腐蚀、不导电、干燥、洁净的气体

    过载能力         额定量程的200%

    加速度灵敏度     <0.001%FS/g

    外形尺寸图       直径:2.1mm、2.6mm,长度:18mm、11mm、7mm可选


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