CYG502 超微型压力传感器(绝压)

动态定制压力传感器

产品简介

CYG502的压力敏感元件采用先进的MEMS(Miro Electronic Machinical Systems)技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度。离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移。采用硅-硅直接键合技术、倒V型槽设计、从而实现了可利用芯片薄膜尺寸的最佳化,为超微型传感器的实现取得关键突破。使用了硅-硅键合技术,改善了热匹配效果,减少了压力带来的零位不稳定性。

    双桥CYG502.pdf


    产品综述

    标准尺寸外径2mm的超微型压力传感器CYG502是专为流体力学实验中要求更小安装尺寸的用途而设计的。是目前我公司推出产品中尺寸最小的压力传感器。

    CYG502的压力敏感元件采用先进的MEMSMiro Electronic Machinical Systems)技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有优秀的线性精度。离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移。采用硅-硅直接键合技术、倒V型槽设计、从而实现了可利用芯片薄膜尺寸的最佳化,为超微型传感器的实现取得关键突破。使用了硅-硅键合技术,改善了热匹配效果,减少了压力带来的零位不稳定性。

     

    产品介绍

    精度等级

    JA:典型值±0.25%FS;最大值±0.5%FS

    JB: 典型值±0.1%FS;   最大值±0.2%FS

    零位输出

    0±5mV

    满量程输出

    最小值30mV、典型值80mV、   最大值130mV

    输入输出阻抗

    最小值3Ω、典型值4.5Ω、最大值6Ω

    输入工作电流

    1mA、1.2mA(恒流电)

    补偿温度

    10℃~70℃(可按用户要求特订)

    工作温度范围

    -55℃~+125℃/-40℃~+105℃

    存储温度范围

    -60℃~+130℃

    测量介质

    无腐蚀、不导电、干燥、洁净的气体

    过载能力

    额定量程的200%

    加速度灵敏度

    <0.001%FS/g

    外形尺寸

    直径:2.1mm、2.6mm,长度:18mm、11mm、7mm可选

    军品定制

    本型号产品承接军品定制


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